SemiChem 單槽壁掛式在線濃度監(jiān)測儀

SemiChem 單槽壁掛式在線濃度監(jiān)測儀為工程師提供了準確性、可靠性和靈活性的過程監(jiān)控，可以提高效率、保證晶圓制造的一致性，以滿足更高的良率和容錯的要求。在競爭激烈的微電子工業(yè)中，如果不使用復雜的監(jiān)測和控制來確保晶圓制造的一致性，晶圓的制造成本將大大提高。

我們的SemiChem 單槽壁掛式在線濃度監(jiān)測儀允許定量化學濃度。全在線化學監(jiān)測能夠實時校正溶液成分，從而穩(wěn)定控制工藝條件、保持產品的一致性。

監(jiān)控工藝過程中溶液的組分信息能夠增加產品的產量?？赡苡绊懏a品質量的變化在檢測時會立即顯現(xiàn)出來，并在產品質量受損之前迅速糾正。

產品選項  

• 多個樣本點

• 額外的5 mL數字滴定管

• 附加傳感器

• 安全聯(lián)鎖裝置

• 試劑低液位檢測

優(yōu)勢  

• 增加工具產量

• 降低化學品成本

• 實時過程監(jiān)控

• 降低批量損失

• 降低所有者成本

應用    

• 銅化學機械拋光

• 鎢化學機械拋光

• 濕法蝕刻

• 清潔

• DSP+

• 氮化物蝕刻

• PAN蝕刻  

• 食人魚蝕刻

• HF

產品特點

• 4個4-20 mA 模擬輸出

• 8個可編程繼電器

• 以太網和 RS232 串口

• 彩色觸摸屏

• 集成試劑儲存

• 單采樣點

• 1個5mL數顯滴定管

• 多個傳感器輸入

規(guī)格

¹僅指“硬件"。應用、化學和工藝條件等外部因素會影響系統(tǒng)準確度和精密度。

²這不包括 pH 傳感器的校準。有關詳細信息，請參閱安裝和操作手冊。Entegris 相信此處包含的數據是真實的，所表達的意見是合格專家對所進行測試的結果的看法，這些數據不應被視為 Entegris  承擔法律責任的保證或陳述。提供的數據僅供考慮、調查和驗證。對這些數據和信息的任何使用都必須由用戶決定，以符合聯(lián)邦、州和當地的法律法規(guī)。所有規(guī)格如有更改，恕不另行通知。

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